從事平面研磨加工的朋友都知道在超精密研磨拋光較薄脆零件過程中，研磨盤和工件是做相對摩擦運動的，研磨盤與工件的局部接觸區域往往會出現高溫，有時甚至可以達到幾百度。局部的高溫不但會燒傷零件表面，形成加工變質層，而且會引起零件的局部變形，同時，平面研磨機局部高溫區的熱量還會以熱傳導的方式傳到整個研磨盤，使研磨盤也會發生熱變形，研磨盤作為研磨加工的磨具，其面型精度能在一定程度上“復制”到工件表面。 

 

 

　　因此，平面研磨機在進行研磨拋光過程中研磨盤自身的熱變形對工件的面型精度一定會有影響。而且研磨盤溫度越高，越不均勻，工件所受的變形影響越大。因此及時地將局部研磨盤高溫區的熱量驅散，合研磨盤各部分的溫度比較均勻且處于較低的水平是非常的必要的。